kurabo液體成分濃度計(jì)的技術(shù)特點(diǎn)

ChemicAlyzer 是一種液體成分濃度計(jì)，采用采用光吸收原理的在線設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量。自 1990 年以來(lái)，我們作為紅外液體成分濃度計(jì)的先*開(kāi)始了我們的業(yè)務(wù)，我們利用我們豐富的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和技術(shù)，通過(guò)響應(yīng)質(zhì)量和化學(xué)濃度的需求來(lái)應(yīng)對(duì)不斷發(fā)展的半導(dǎo)體器件制造工藝。支持管理。

我們將通過(guò)靈活應(yīng)對(duì)工藝和特殊化學(xué)品，以及通過(guò)高精度化學(xué)濃度測(cè)量“提前應(yīng)對(duì)測(cè)量需求”，繼續(xù)為優(yōu)化制造工藝做出貢獻(xiàn)。

1.高質(zhì)量

為每個(gè)測(cè)量目標(biāo)選擇*佳波長(zhǎng)并為每個(gè)設(shè)備創(chuàng)建校準(zhǔn)曲線。

我們提供通過(guò)檢驗(yàn)測(cè)試的穩(wěn)定產(chǎn)品，機(jī)器差異很小。

2.高性能

ChemicAlyzer 是一款高性能密度計(jì)，具有出色的響應(yīng)性和分辨率。

濃度控制是可能的，即使是快速分解的成分的最輕微變化也不會(huì)被忽視。

3.耐久性

有助于長(zhǎng)期降低運(yùn)行成本。

我們提供支持已超過(guò) 10 年，并擁有良好的業(yè)績(jī)記錄。

晶圓制造工藝

?抗蝕劑剝離劑的濃度控制

?酸堿清洗液的濃度控制

半導(dǎo)體制造工藝

?再生化學(xué)品的濃度管理

?氧化膜/氮化膜蝕刻液的濃度控制

標(biāo)準(zhǔn)型 Pro
-2（KIS 系列）

• 

• 型號(hào)：KIS-2□-R[-備注]
  （□是表示化學(xué)種類(lèi)的符號(hào)。）

  設(shè)備配置		融合的
  設(shè)備尺寸		W201 x D340 x H198 [毫米]
  設(shè)備重量		約11公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導(dǎo)體制造工廠無(wú)塵室或同等設(shè)備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無(wú)冷凝）
  電源		AC100-220V 80W

Pro-2+（KIS-P 系列）
Pro-2+（KIS-P 系列）

• 

• 型號(hào)：KIS-2□-RP[-備注]
  （□是表示化學(xué)種類(lèi)的符號(hào)。）

  設(shè)備配置		一體型 (*1)
  設(shè)備尺寸		W270 x D340 x H257 [毫米]
  設(shè)備重量		約16公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導(dǎo)體制造工廠無(wú)塵室或同等設(shè)備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無(wú)冷凝）
  電源		100-220V 100W

高性能型號(hào) Ace-3（KIS-A 系列）

• 

• 型號(hào)：KIS-2□-A[-備注]
  （□是表示化學(xué)種類(lèi)的符號(hào)。）

  設(shè)備配置		融合的
  設(shè)備尺寸		W250 x D330 x H282 [毫米]
  設(shè)備重量		約15公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導(dǎo)體制造工廠無(wú)塵室或同等設(shè)備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無(wú)冷凝）
  電源		DC24V 100W

RD-20 系列 (RD-10/20/30)
RD-20 系列 (RD-10/20/30)

• 

• 型號(hào)：RD-2□[-備注]
  （□是表示化學(xué)種類(lèi)的符號(hào)。）

  設(shè)備配置		一體型 (*1)
  設(shè)備尺寸		W176 x D288 x H176 [毫米]
  設(shè)備重量		約6公斤
  安裝環(huán)境	地方	室內(nèi)環(huán)境，無(wú)振動(dòng)或腐蝕性環(huán)境
  	環(huán)境溫度	10 至 30°C（無(wú)冷凝）
  電源		DC24V 30W

TECH（TM 系列）
TECH（TM 系列）

• 

• 型號(hào)：TM-2□-A-FS[-備注]
  （□是表示化學(xué)種類(lèi)的符號(hào)。）

  設(shè)備配置		分離細(xì)胞類(lèi)型
  設(shè)備尺寸		W196 x D340 x H260 [毫米]
  設(shè)備重量		約11公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導(dǎo)體制造工廠無(wú)塵室或同等設(shè)備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無(wú)冷凝）
  電源		AC100-220V 80W