用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計(jì)數(shù)器”介紹

發(fā)布時(shí)間：2024-02-01　點(diǎn)擊量：627

用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計(jì)數(shù)器"介紹

一種特殊的測(cè)量裝置，可以測(cè)量落塵而不是浮塵。
對(duì)10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)。

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量，則應(yīng)使用落塵計(jì)數(shù)器而不是顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)量。

原因是：

① 導(dǎo)致附著異物的粗顆粒較大，范圍為 10 μm 至 100 μm，無法用顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量。

② 大顆粒不會(huì)漂浮在空氣中，而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個(gè)。

此外，ISO14644-17自2021年2月起頒布，可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標(biāo)。（點(diǎn)擊這里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之間的關(guān)系）

因此，通過測(cè)量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著的異物。

這是一種特殊的測(cè)量裝置，可以測(cè)量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對(duì)下落的10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進(jìn)行評(píng)估。

*硅晶片：圓盤狀樣品板，是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導(dǎo)體基板。

本機(jī)是專門利用硅片樣品對(duì)10μm至100μm粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)的測(cè)量設(shè)備。

對(duì)于頭發(fā)等100μm以上的異物，由于其形狀和重量，不適合使用硅片作為樣品。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調(diào)查較大的異物。

	DTSP10-02	DTSP10-03
最小可測(cè)量粒徑	10μm	10μm
粒度分級(jí)	10μm、30μm、50μm、100μm	10μm、30μm、50μm、100μm 可在11～99μm*3范圍內(nèi)任意設(shè)定值
兼容晶圓尺寸	4英寸	4英寸	2英寸*4)
最大測(cè)量面積	φ80mm	φ80mm	φ30mm
修剪功能	是的	是的	沒有任何
顯示切換	沒有任何	有（可單獨(dú)顯示）

*3) 任意分類設(shè)定的閾值是從校準(zhǔn)曲線中獲得的值，無法保證計(jì)數(shù)效率。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計(jì)數(shù)效率，對(duì)于 2 英寸區(qū)域無法保證計(jì)數(shù)效率，計(jì)數(shù)效率受到限制。

▼DTSP10-02	▼DTSP10-03