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簡易型微量金屬污染物采樣設備(SC系列)

發(fā)布時間:2024-03-15 點擊量:987

簡易型微量金屬污染物采樣設備(SC系列)

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SC-3100
●通過與計算機聯(lián)機,可選擇豐富多樣的采樣模式,對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
●因為不太需要外部資源,也不太占地方,易于導入。
●采樣操作由設備自動完成,無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作,與SC-2000相比,可以減少由操作員引起的污染。

SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài)、采樣液種類的要求不苛刻,另外,還可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然,也可以進行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。

SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài),以及采樣液種類的采樣限制,本設備有所突破,另外,也可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然,也可以進行常規(guī)的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作,與SC-8100相比,可以減少由操作員引起的污染。


設備名稱SC-3100SC-8100SC-9100
操作控制電腦(※3)
支架具的裝/卸自動手動自動
采樣液的供給自動手動自動
采樣液的回收自動(※1)手動自動
采樣基本模式圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧
采樣追加模式(※1)端面、弧形、長方形
晶圓排片(※2)對圓環(huán)形、固定半徑、端面采樣模式有追加項
吸取式采樣
親水面采樣
外形尺寸(WxDxH)(mm)630×550×600600×550×700630×550×790
重量35Kg40Kg50Kg
安裝環(huán)境無塵通風柜內(nèi)
所需外部資源電源(100~240VAC)、
純凈水、干潔氣源
電源(100~240VAC)、
N2、干潔氣源
電源(100~240VAC)、
純凈水、N2、干潔氣源

※1,2: 追加項目需要另外計費,另外,對于親水狀態(tài)的晶圓,不能進行端面采樣,謹請諒解。
※3:配置電腦需要另外計費。



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