半導(dǎo)體設(shè)備驗(yàn)收用數(shù)字水平儀SELN-001B介紹

數(shù)字水準(zhǔn)儀是非常有用的安裝調(diào)整和測(cè)量工具，可以應(yīng)用到調(diào)整大多數(shù)類型的機(jī)器，例如：調(diào)平機(jī)床底座、軋輥、工作臺(tái)等。0.0.1 mm/m[mils/inch]是機(jī)械安裝水平面的正常要求，以確保機(jī)械設(shè)備的正確功能。其他應(yīng)用包括檢查直線度、平面度和平行度。

在GB/T1182《形狀和位置公差》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中，將形位公差中的位置公差分為平行度、垂直度、傾斜度、位置度、同軸度、圓跳動(dòng)、全跳動(dòng)等，這些位置公差的對(duì)象是單一工件自身的各個(gè)點(diǎn)、線、面，同時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)這些位置公差有專門的公差符號(hào)。

　　而機(jī)械產(chǎn)品安裝過(guò)程中常用的位置公差通常是指兩個(gè)工件之間或工件和基準(zhǔn)面之間的關(guān)系，一般包括水平度、平行度和垂直度三類。需要注意的是，機(jī)械安裝過(guò)程中的“平行度"和“垂直度"只是借用了《形狀和位置公差》中“平行度"和“垂直度"的概念，其含義和要求相差甚遠(yuǎn)，且沒(méi)有公差符號(hào)表示；“水平度"的概念類似于形位公差中的“平面度"，但僅限于平行于地面的平面。

　　以“平行度"為例，單一工件要素平行度測(cè)量的主要工具是百分表或千分表，而機(jī)械安裝過(guò)程中的平行度則根據(jù)對(duì)象的不同采取不同的檢測(cè)工具和手段。

精密機(jī)器，半導(dǎo)體制造設(shè)備等的水平調(diào)整適合?。「纳圃瓉?lái)的水準(zhǔn)調(diào)整工作?。U(kuò)大了測(cè)量范圍。（±０．３°ｄｅｇ）??！

5個(gè)優(yōu)點(diǎn)

1、水平為X，Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。

2、上下間隔狹窄部位的水平觀測(cè)也OK！

3、通過(guò)瞬時(shí)的數(shù)字測(cè)量判斷，可以統(tǒng)一作業(yè)者的標(biāo)準(zhǔn)。

4、通過(guò)雙軸同時(shí)調(diào)整，縮短了調(diào)整作業(yè)工時(shí)。

5、設(shè)定合格角度范圍，即使是初學(xué)者，水平調(diào)整作業(yè)也很輕松簡(jiǎn)單！