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日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計(jì)

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)： FUD-1 Model-13

所屬分類：密度計(jì)

產(chǎn)品時(shí)間：2025-05-03

簡(jiǎn)要描述：日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(shì)（如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小型單元型振蕩器。

詳細(xì)說(shuō)明：

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計(jì)

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(shì)（如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小型單元型振蕩器。


單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

可以進(jìn)行實(shí)時(shí)濃度測(cè)量，并且可以輕松構(gòu)建濃度管理系統(tǒng)。

  • 配備模擬DC 4-20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)配置

  • 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出

  • 配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置

  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上

  • 由于潤(rùn)濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計(jì)，因此對(duì)化學(xué)藥品沒(méi)有影響。?


值得

  • 可以高精度連續(xù)測(cè)量

  • 免維護(hù)，無(wú)需定期調(diào)整/校準(zhǔn)

  • 易于安裝，因?yàn)樵诎惭b過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調(diào)整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程


用途

  • CMP過(guò)程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制

  • 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)濃度的管理（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）

  • 清潔過(guò)程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IPA等）

  • 控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度（HF，H2SO4等）



日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

規(guī)范

格式FUD-1模型13
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD（密度，溫度，聲速/各種參數(shù)）
輸出信號(hào)模擬DC 4-20mA（可自由設(shè)定濃度值）
數(shù)字RS232C（濃度，溫度，聲速，錯(cuò)誤代碼）
警報(bào)上下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz（也可以使用DC24V）
施工面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）/板載安裝類型（可以選擇安裝在防雨箱中）
環(huán)境溫度0至50℃RH85％以下（無(wú)冷凝）
0至100℃特殊規(guī)格-10至160℃（100℃寬度）
功能輸出范圍設(shè)置，警報(bào)輸出設(shè)置，濃度顯示移動(dòng)平均值，濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能，自診斷功能，故障保護(hù)功能，異常值消除
RS485輸出（不能與RS232C同時(shí)輸出）
選項(xiàng)溫度輸出（4-20mA DC）
渠道高達(dá)10ch
兼容發(fā)射器型號(hào)13 ： SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5





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