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日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計

產(chǎn)品型號: FUD-1 Model-13

所屬分類:

產(chǎn)品時間:2024-09-05

簡要描述:日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(如可維護(hù)性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元型振蕩器。

詳細(xì)說明:

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(如可維護(hù)性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元型振蕩器。


單組分密度計的特點(diǎn)

可以進(jìn)行實(shí)時濃度測量,并且可以輕松構(gòu)建濃度管理系統(tǒng)。

  • 配備模擬DC 4-20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)配置

  • 標(biāo)配測量誤差輸出和報警輸出

  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置

  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上

  • 由于潤濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計,因此對化學(xué)藥品沒有影響。?


值得

  • 可以高精度連續(xù)測量

  • 免維護(hù),無需定期調(diào)整/校準(zhǔn)

  • 易于安裝,因?yàn)樵诎惭b過程中無需進(jìn)行任何調(diào)整

  • 通過實(shí)時輸出輕松反饋到過程


用途

  • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制

  • 稀釋過程中各種化學(xué)濃度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)

  • 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)

  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度(HF,H2SO4等)



日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13

規(guī)范

格式FUD-1模型13
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD(密度,溫度,聲速/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC 4-20mA(可自由設(shè)定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度,溫度,聲速,錯誤代碼)
警報上下限測量錯誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V)
施工面板安裝類型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn))/板載安裝類型(可以選擇安裝在防雨箱中)
環(huán)境溫度0至50℃RH85%以下(無冷凝)
0至100℃特殊規(guī)格-10至160℃(100℃寬度)
功能輸出范圍設(shè)置,警報輸出設(shè)置,濃度顯示移動平均值,濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能,自診斷功能,故障保護(hù)功能,異常值消除
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
選項溫度輸出(4-20mA DC)
渠道高達(dá)10ch
兼容發(fā)射器型號13 SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5




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