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產(chǎn)品型號： FilmTek 1000
所屬分類：
產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-07
簡要描述：日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)FilmTek 1000該公司的產(chǎn)品可以執(zhí)行非接觸，非破壞性和高精度的折射率測量，半導(dǎo)體，光電，數(shù)據(jù)存儲，平板，MEMS，光致抗蝕劑，TSV（硅直通電極）和其他成膜過程。它已交付給大型公司，并在范圍內(nèi)享有很高的聲譽(yù)。
日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)FilmTek 1000
?SCI（科學(xué)計(jì)算）光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)?
憑借廣泛的測量波長，專有算法和分析軟件，我們具有其他公司所沒有的各種優(yōu)勢。
通過組合靈活的系統(tǒng)，我們可以準(zhǔn)確地響應(yīng)您的需求。
[關(guān)于SCI（科學(xué)計(jì)算）]
SCI（科學(xué)計(jì)算）于1993年在加利福尼亞州成立，是一家薄膜分析和設(shè)計(jì)軟件公司。
在1996 年開發(fā)的分析和設(shè)計(jì)軟件FilmWizasrd TM被*為各個(gè)領(lǐng)域的優(yōu)xiu軟件包之后，我們開發(fā)了光學(xué)膜厚測量儀FilmTeK TM系列。
該公司的產(chǎn)品可以執(zhí)行非接觸，非破壞性和高精度的折射率測量，半導(dǎo)體，光電，數(shù)據(jù)存儲，平板，MEMS，光致抗蝕劑，TSV（硅直通電極）和其他成膜過程。它已交付給大型公司，并在范圍內(nèi)享有很高的聲譽(yù)。
[產(chǎn)品陣容]
<1> FilmTek 1000系列：簡單的干涉儀系統(tǒng)
? FilmTek 1000UV（UV?面光源）
? FilmTek 1000M（小斑點(diǎn)）
<2> FilmTek 2000系列：干涉儀測繪標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，也可以進(jìn)行多層膜分析。
? FilmTek 2000M（小斑點(diǎn)）
? FilmTek 2000M TSV（TSV測量）
FilmTek 2000SE（橢圓儀）
? FilmTek 2000PAR
<3> FilmTek 3000系列：使用分光鏡在DUV到NIR范圍內(nèi)，測量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率圖
? FilmTek 3000M
? FilmTek 3000 +近紅外
? FilmTek 3000SE
? FilmTek 3000PAR
<4> FilmTek 4000系列：通過功率譜密度（PSD）進(jìn)行多角度反射率測量和高精度測量
? FilmTek 4000VIS +紅外
? FilmTek 4000SE
<5> FilmTek SE：光譜橢圓儀
[FilmTek產(chǎn)品概述]
FilmTek系列是一種光學(xué)非接觸式膜厚測量設(shè)備，可進(jìn)行無損且高精度的折射率測量。
為了進(jìn)行分析，可以使用SCI*的高性能軟件：Film Wizard。
可以在不固定折射率和吸收（衰減）系數(shù)的情況下與膜厚度同時(shí)計(jì)算折射率和吸收系數(shù)。
在測量的同時(shí)輸出光學(xué)膜厚度，然后使用洛倫茲-洛倫茲公式由反射率和透射率確定介電常數(shù)。
確定介電常數(shù)后，將使用SCI的原始色散公式作為物理屬性值自動(dòng)計(jì)算材料的波長依賴性，并自動(dòng)擬合n（折射率）和k（吸收系數(shù)）。 ..
另外，由于將折射率的分辨率計(jì)算為10-4以上，因此，不僅是由該固定折射率得到的來自上表面的信息，而且還包括界面層，表面的變化和內(nèi)傾斜層?？梢圆蹲降接绊?。
[測量例]
<測量目標(biāo)>
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日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)FilmTek 1000 <測量膜的 光刻膠金屬薄膜（半透明） 聚酰亞胺Al2O5 IGZO OLED等 <測量基準(zhǔn)示例> | ? |
產(chǎn)品名稱：膜厚測量系統(tǒng)（非接觸式，光學(xué)型）
